事業内容 | 株式会社東北シーアイシー研究所

当社内のクリーンルームでは、超純水を用いた洗浄、除塵設備による高品質な洗浄を確立しております。
半導体製造におけるクリーンルーム維持管理のパートナーとして、
また、製薬・食品製造についてはGMP・FDA基準のパートナーとしてお力添えをさせていただいております。

オプションサービス

■ICタグシステムによる洗浄管理システム

ICタグを取り付けることで、クリーンスーツ個体別の洗浄管理ができます。
洗浄履歴は、Webを利用しご確認いただけるサイトを用意しております。

■クリーンスーツ発塵検査

JIS-B-9923（タンブリング法）による洗浄後のクリーンスーツの発塵検査を実施しております。

■オートクレーブ滅菌

製薬・食品業のお客さまに、滅菌処理をしたクリーンスーツをお届けいたします。

— ひとりひとりの品質意識を高める —

クリーンルームでは、クリーンパンチングテーブル上で作業を行い、
清浄な包材へパックし、お客さまへお届けしております。

　ウエハーキャリア、キャリアボックス、ICチップトレー等、製品の移送保管時に使用するボックス、トレー、
各種容器等の清浄度管理は益々重要性が高まり、パーティクル汚染制御から分子汚染制御まで
ハイクオリティな表面精密洗浄を行っております。
　近年は環境面からもニーズの高い各種容器等のリユースのソリューション提供にも協力させていただいております。

SCC洗浄システム

　基本洗浄工程は、比抵抗値15MΩ・cm以上の超純水を使用して、精密洗浄、リンスを行います。
　お客さまのニーズ（除去する汚染物質の種類や要求品質等）に合わせ、ブラシスクライビング洗浄、超音波洗浄、オゾン洗浄（オプション）など、さまざまな洗浄プロセスの中から、適切なプログラムを選定して対応しています。

オゾン洗浄　オプション

　オゾン水は、強い酸化力を有し、洗浄対象物質表面に付着した殆どの金属をイオン化し溶解します。また、有機物においても炭素と化合し二酸化炭素として酸化分解、もしくは低分子化・有機酸までの分解により可溶性有機物となって洗い流されます。
　オゾン水は、さらに低公害性の物質であり、環境保全の面からも有効な手段と考えております。

— 培われてきた技術と信頼 —

新しい時代への挑戦

　従来、SCCの対象分野は半導体や液晶関係が中心でしたが、現在では化学薬品分野や製薬分野、メカトロ分野など、その需要は多岐にわたって拡大しています。
　当社は、変化するお客さまのニーズに敏感に対応し、あらゆる分野における精密洗浄について、今後も良質のサービスを提供してまいります。

SCC評価システム

■湿式表面清浄度評価　測定法

　超純水を満たした水槽の溶液を、液体フィルターを通して循環し、系内溶液の清浄度を上げた後、ポンプを停止してバックグランド濃度を計測。次に試料を水槽内に投入し、試料表面に付着している粒子を液中に脱離させ、液中の粒子濃度を計測して評価します。

お問い合わせ

TEL

023-688-2581